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Hitachi離子濺射

簡要描述:Hitachi離子濺射采用LCD觸摸屏,可以更加簡便地設定加工條件,可處理較厚或較大的樣品(選配件)。

  • 產品型號:MC1000
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-06-09
  • 訪  問  量:78
  • 產品簡介

日立離子濺射儀 MC1000 

 
采用磁控型電極使樣品損傷最小化

 

LCD觸摸屏設
計操作簡單適

 

記憶功能存
儲處理方案

 

適用復雜樣品

 

 

特點

 

● Hitachi離子濺射采用LCD觸摸屏,可以更加簡便地設定加工條件

● 可處理較厚或較大的樣品(選配件)

● Hitachi離子濺射記憶功能可存儲常用加工條件

 

 

技術規格

 
  
項目描述

放電

類型

磁控二極管放電型(電場垂直于磁場)

電極組成

反向平行盤(嵌入磁鐵)

電壓

最大 0.4 kV DC(直流可變)

電流

最大 40 mA DC

噴鍍速率 *1(最大)
[條件]
壓力:7 Pa
放電電流:40 mA
標靶與樣品表面之間的距離:20 mm

Pt 靶(選配件)

15 nm/min

Pt-Pd 靶(選配件)

20 nm/min

Au 靶(選配件)

35 nm/min

Au-Pd 靶(選配件)

25 nm/min

樣品尺寸

最大直徑 

φ60 mm

最大高度

20 mm

機械泵

135/162 l/min (50/60Hz)

靶材*2

Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)

電源要求

單相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-針插頭線纜(3 m)

尺寸

寬度

450 mm

長度

391 mm

高度

390 mm

重量

主機:約 25 kg
機械泵:約 28 kg

*1: 噴鍍速率僅供參考

*2: 主機內不包括靶材。請從選項中選擇(鉑,鉑-鈀,金,金-鈀)。

 

選配附件

 
項目描述

膜厚/溫度控制單元*1

鍍層厚度控制范圍:1nm 至 30nm
溫度控制范圍:室溫至低于室溫-25℃

蒸鍍單元

蒸鍍碳(鉛筆芯)

大樣品倉*2

最大直徑:φ150mm 最大高度:20mm

變壓器

適用電壓:115,200,208,220,230,240V

*1﹠*2.需要同主機同時配置,*1不需要大樣品倉

 

安裝要求

 
項目描述

室溫

15 ~ 30℃

相對濕度

≤85%

主機功率

AC 100V (±10%) ,50/60Hz,1.25kVA

接地地阻

≤100Ω

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